石英晶舟
晶舟在卧式炉热处理过程中垂直支撑硅片，或在立式炉设计中水平放置。晶舟的尺寸精度控制晶圆间距、气流均匀性及整批工艺中的污染水平。
标准规格
卧式晶舟（标准槽型）
| 晶圆尺寸 | 标准槽数 | 槽距 | 总长 | 高度 | 材料 |
|---|---|---|---|---|---|
| 4英寸（100 mm） | 25 | 4.76 mm | 130 mm | 130 mm | 一级 |
| 6英寸（150 mm） | 25 | 6.35 mm | 175 mm | 180 mm | 一级 |
| 8英寸（200 mm） | 25 | 7.62 mm | 215 mm | 230 mm | 一/二级 |
| 12英寸（300 mm） | 25 | 9.52 mm | 265 mm | 335 mm | 二级 |
可按需定制槽数（13、26、50、100片）和槽距。
立式晶舟（适用于立式炉）
立式晶舟采用管棒式结构，在设定间距处配有精密开槽环。
| 晶圆尺寸 | 标准槽数 | 槽距 | 总高 |
|---|---|---|---|
| 8英寸（200 mm） | 100 | 4.76 mm | 520 mm |
| 12英寸（300 mm） | 100 | 7.62 mm | 820 mm |
槽型几何参数
槽型设计须容纳晶圆厚度变化并防止粘连，同时保持近垂直的放置角度以确保均匀气体曝露。
| 特征 | 标准 | 严格公差 |
|---|---|---|
| 槽宽 | 晶圆厚度 + 0.3 mm | 晶圆厚度 + 0.15 mm |
| 槽深 | 5–8 mm | 5–8 mm |
| 放置角度 | 88° ± 1° | 88° ± 0.5° |
| 槽距 | ±0.2 mm | ±0.1 mm |
| 槽平行度 | < 0.2 mm | < 0.1 mm |
材料选择
- 一级（天然熔融石英）： 适用于1150°C以下、总金属污染 < 20 ppm 可接受的所有工艺
- 二级（合成熔融二氧化硅）： 适用于 ppb 级痕量金属要求的工艺——LPCVD 栅极氧化、超高纯度扩散