Cuarzo fundido
Barquilla de cuarzo para obleas
Barquillas de obleas de cuarzo fundido mecanizadas con precisión para hornos de difusión horizontales y verticales, con estándar de 25 ranuras y cantidad personalizada para obleas de 4 a 12 pulgadas.
Dimensiones y especificaciones personalizadas disponibles bajo pedido.
Especificaciones Técnicas
| Parámetro | Valor |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 or Grade 2 |
| Slot Pitch Tolerance | ±0.1 mm |
| Slot Width Tolerance | ±0.05 mm |
| Slot Parallelism | < 0.1 mm |
| Wafer Seating Angle | 88° ± 0.5° (near-vertical) |
| Max Use Temperature | 1200°C continuous |
Barquilla de cuarzo para obleas
Barquilla de cuarzo para obleas
La barquilla de cuarzo sostiene obleas con separación uniforme durante difusión, oxidación, recocido y LPCVD. Es adecuada para procesos de horno que requieren estabilidad térmica y baja contaminación.
Fabricación y calidad
Controlamos paso de ranura, ancho de ranura, paralelismo y ángulo de asiento de oblea. También verificamos compatibilidad con manipulación del horno y utillaje existente.
Información para cotizar
Comparta tamaño de oblea, número de ranuras, paso, tipo de horno, forma de extremo y cantidad prevista.
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