石英反应管
反应管与标准扩散管的不同之处在于其更高的纯度要求、更严格的尺寸公差以及更复杂的几何结构——通常包括侧向开口、法兰端部、抛光内表面以及与水冷金属组件的集成。
结构特征
内表面光洁度
CVD和外延反应管需要光滑的内表面，以防止管壁上的薄膜成核、减少沉积物剥落产生的颗粒物，并便于清洗。
| 等级 | Ra | 方法 | 应用 |
|---|---|---|---|
| 标准 | ≤ 0.8 μm | 磨削 | 一般LPCVD、氧化 |
| 精密 | ≤ 0.4 μm | 精密磨削 | APCVD、外延 |
| 抛光 | ≤ 0.1 μm | CMP / 火焰抛光 | 高纯外延、ALD |
侧向开口
气体进出口、热电偶引线和压力取样口焊接在管壁的指定位置。
| 开口特征 | 规格 |
|---|---|
| 开口外径范围 | 6–50 mm |
| 角度位置 | ±1° |
| 轴向位置 | ±0.5 mm |
| 焊缝完整性 | 氦检漏率 < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 支管长度 | 50–150 mm 标准 |
端部法兰
反应管通常以精密磨削法兰端接，与水冷金属端盖对接。
- 法兰平面度：< 0.05 mm
- 与内孔同心度：< 0.1 mm TIR
- 可选：平面、阶梯型或OEM配合型
二级合成二氧化硅作为标准材料
外延和高纯CVD用反应管默认采用二级合成二氧化硅（总金属 < 50 ppb）供货——满足12英寸晶圆工艺中铁、钠和硼污染需保持在1×10¹⁰ atoms/cm²以下的纯度要求。
一级天然熔融石英适用于要求较低的应用或成本优先的场合。
质量验证套件
| 测试 | 详情 |
|---|---|
| ICP-OES纯度 | 完整的痕量金属分析证书 |
| 三坐标尺寸检测 | 所有关键尺寸与图纸对照 |
| 氦检漏测试 | 所有焊缝；出具证书 |
| 内表面Ra | 在3个轴向位置进行轮廓仪测量 |
| 双折射 | 偏光镜——< 10 nm/cm |
| 目视检查 | 在高强度照明下的气泡/条纹/夹杂物映射 |