石英湿法清洗槽
石英清洗槽是半导体晶圆制造中湿法化学处理的主要容器。清洗槽用于盛装HF基清洗液（DHF、BHF）、RCA清洗化学品（SC-1：NH₄OH/H₂O₂；SC-2：HCl/H₂O₂）、硫酸-过氧化氢混合液（SPM / Piranha）以及去离子水漂洗液。
熔融石英是首选材料，因为它对上述所有化学品具有化学惰性（浓HF在80°C以上除外），不会浸出金属污染物，并且可以作为超声传导介质用于兆声清洗应用。
标准槽体配置
敞口单槽
矩形焊接槽体，顶部开口，用于手动或机器人晶圆浸入。
| 晶圆尺寸 | 内部尺寸（长×宽×高） | 壁厚 | 容量 |
|---|---|---|---|
| 4”花篮 | 160 × 130 × 200 mm | 5 mm | 1个花篮 |
| 6”花篮 | 210 × 175 × 250 mm | 6 mm | 1个花篮 |
| 8”花篮 | 260 × 225 × 300 mm | 7 mm | 1个花篮 |
| 12”花篮 | 380 × 340 × 380 mm | 8 mm | 1个花篮 |
| 定制 | 按规格 | 5–10 mm | 按规格 |
所有内表面：火焰抛光或机械抛光至 Ra ≤ 0.8 μm，便于清洁。
级联/溢流漂洗槽
带溢流堰的多级槽体，用于连续去离子水漂洗。级联设计消除了化学品向去离子水的带入。
- 一侧或两侧长边带有整体溢流唇
- 带石英接头的排水口（兼容Swagelok接头）
- 液位传感器凸台（可选）
兆声清洗槽
底板厚度和几何形状专为兆声换能器粘合设计（750 kHz或1 MHz）。按兆声系统集成商的规格供货。
化学兼容性
| 化学品 | 使用条件 | 兼容性 |
|---|---|---|
| DHF（1–49% HF） | 室温 | 优异 |
| BHF（缓冲HF） | 室温 | 优异 |
| 浓HF | > 80°C | 缓慢侵蚀——限制温度 |
| SC-1（NH₄OH/H₂O₂/H₂O） | 60–80°C | 优异 |
| SC-2（HCl/H₂O₂/H₂O） | 60–80°C | 优异 |
| H₂SO₄ / H₂O₂（Piranha） | 120–150°C | 优异 |
| HNO₃ | 任意温度 | 优异 |
| 去离子水 | 任意温度 | 优异 |
制造与质量
所有接缝均由持证操作员采用氢氧焰熔接焊接。焊后处理：
- 整槽退火（双折射 < 10 nm/cm）
- 所有焊缝氦检漏（< 1×10⁻⁹ mbar·L/s）
- 尺寸检测（内部尺寸 ±1 mm）
- 目视检查（焊缝20 mm范围内无大于0.5 mm的夹杂物）