FUSED QUARTZ
石英气体注入器与喷淋头
精密多孔石英气体注入器和喷淋头，用于CVD、ALD和扩散炉系统中的均匀气体分布——孔阵列位置精度达±0.02 mm。
支持按需定制尺寸和规格。
石英气体注入器与喷淋头
均匀的气体分布对于CVD、ALD和扩散工艺中的薄膜厚度均匀性至关重要。石英气体注入器和喷淋头提供精确定位、精确尺寸的孔阵列，确保工艺气体以正确的速度分布和空间均匀性到达晶圆表面。
产品类型
管式注入器（侧口/鼓泡器型）
沿长度方向带有激光钻孔或金刚石钻孔的石英管——插入炉管内，将气体沿晶圆堆分布。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 管外径 | 6–25 mm |
| 孔径 | 0.3–2.0 mm |
| 孔位精度 | ±0.02 mm |
| 孔距公差 | ±0.05 mm |
| 氦检漏率（端部接头） | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 可选长度 | 最长1500 mm |
平板喷淋头
带有精密孔阵列的石英平板——在较大晶圆面积上提供均匀的淋浴式气体输送。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 最大板尺寸 | 500 × 500 mm |
| 最小孔径 | 0.5 mm |
| 孔位精度 | ±0.02 mm |
| 孔数 | 最多2,000个 |
| 板厚公差 | ±0.05 mm |
| 平面度 | < 0.1 mm |
孔型由CNC根据客户CAD文件编程，或由我们的工程师设计以实现最优气流分布。
环形气体注入环
带有朝内孔的石英圆环——在腔室周边对称输送气体，形成径向气流分布。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 环外径 | 100–500 mm |
| 孔径 | 0.5–3.0 mm |
| 角度孔距 | ±0.1° |
| 环截面 | 圆形或D形 |
| 材料 | 一级或二级 |
钻孔精度
孔阵列需要极高的位置精度，以实现厚度均匀性所需的均匀气流导通率。我们的CNC金刚石钻孔中心可达到：
| 指标 | 数值 |
|---|---|
| 孔位（CNC网格） | ±0.02 mm |
| 孔径重复性 | ±0.01 mm |
| 孔圆度 | ±0.005 mm |
| 锥度（每10 mm深度） | < 0.01 mm |
| 出口崩边 | < 0.1 mm |
所有多孔零件在出货前均100%使用三坐标测量机或光学比较仪对照CAD图案进行检测。
气流导通率均匀性
喷淋头的实际要求是气流均匀性——不仅仅是位置精度。我们提供：
- 应客户要求进行孔型设计的气流导通率仿真（CFD）
- 在客户指定流量下对生产批次进行差压测试验证
- 匹配导通率的替换件（与原件导通率偏差 ±2% 以内）