石英挡板、内衬与隔热件
挡板和内衬在半导体热处理设备中承担着辅助但关键的功能：
- 气流挡板——调节进入或离开工艺管的气体，实现均匀的气流分布
- 隔热屏——减少卧式炉端区温度梯度
- 管内衬——可更换的内管保护主工艺管免受沉积物积聚
- 晶舟支架——将晶圆舟支撑在正确的高度和位置
产品类型
圆盘挡板（气流调节器）
带有中心孔和可选周边孔的石英平盘——安装在炉管端部以调节进气。
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 外径公差 | ±0.3 mm |
| 厚度公差 | ±0.2 mm |
| 中心孔直径 | 与管内径间隙配合 |
| 平面度 | < 0.1 mm |
| 可选类型 | 透明（一级）或不透明（三级） |
管内衬（工艺管内插件）
插入主工艺管内的薄壁石英管——承接沉积物积聚，定期更换，延长主管使用寿命。
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 壁厚 | 1.5–3 mm |
| 在工艺管内的外径间隙 | 0.5–2 mm 径向 |
| 长度 | 与工艺区匹配 ± 20 mm |
| 材料 | 一级或二级（与工艺管匹配） |
隔热端盖
不透明熔融石英（三级）圆盘或堵头，插入炉管端部将红外辐射反射回工艺区，改善温度均匀性。
- 高红外反射率（> 90%）减少端区热损失
- 多片堆叠可提高隔热效果
- 尺寸涵盖所有标准炉管内径规格
晶舟支架/底座
支撑晶圆舟至正确高度以获得最佳工艺气体接触的石英底座。
- 高度精度：±0.5 mm
- 材料：一级石英
- 形式：立柱型、鞍型或平台型，按炉机厂商规格定制
定制加工
所有挡板和内衬组件均按客户图纸制造。常见定制需求包括：
- 圆盘挡板上的非圆形孔型（槽孔、弧形孔）
- 石英螺纹嵌件（M6–M16）
- 组合装配件（挡板焊接至管段）
- 分区标记——不透明与透明区域