용융 석영
석영 뷰포트 윈도우
반도체 공정 챔버 모니터링용 광학 폴리싱 석영 및 사파이어 뷰포트 윈도우입니다. UV부터 중적외선까지 투과하며 금속 또는 CF 플랜지 기밀 구조를 지원합니다.
Materials Available: Fused quartz / Synthetic fused silica / Sapphire Surface Roughness: Ra < 0.5 nm (optical grade) Surface Form: λ/4 standard / λ/10 precision Parallelism: < 3 arc-min standard / < 1 arc-min precision
맞춤형 치수 및 사양 제공 가능합니다.
기술 사양
| 항목 | 값 |
|---|---|
| Materials Available | Fused quartz / Synthetic fused silica / Sapphire |
| Surface Roughness | Ra < 0.5 nm (optical grade) |
| Surface Form | λ/4 standard / λ/10 precision |
| Parallelism | < 3 arc-min standard / < 1 arc-min precision |
| He Leak Rate | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| AR Coating | Available for 193, 248, 355, 532, 1064 nm |
석영 뷰포트 윈도우
석영 뷰포트 윈도우
뷰포트 윈도우는 공정 챔버 내부 관찰, 광학 측정, 레이저 입출력에 사용됩니다. 파장, 온도, 플라즈마 조건에 따라 석영, 합성 석영, 사파이어를 선택합니다.
제조 및 품질
광학 폴리싱, 평탄도, 평행도, AR 코팅, 기밀 플랜지 조립을 요구사항에 맞춰 제공합니다.
문의 시 필요한 정보
파장, 윈도우 직경, 두께, 평탄도, 코팅, 플랜지 사양, 누설 요구사항을 알려 주십시오.
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